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          真空區域的劃分及前級真空泵的選擇
          更新時間:2011-12-26 點擊量:6418

          真空泵真空區域的劃分

          真空區域
          壓強范圍
          托(Torr)
          帕(Pa)
          低真空
          760~10
          101325~1333
          中真空
          10~10-3
          1333~1.33×10-1
          高真空
          10-3~10-8
          1.33×10-1~10-6
          超高真空
          10-8~10-12
          10-6~10-10
          *真空
          <10-12
          <10-10

          對于需要配前級泵的抽氣機組,主泵選完之后,重要的問題是如何選配合適的前級泵和預抽泵。選配前級泵的原則是:
              (1)前級泵在主泵出口處造成的壓力應低于主泵的大排氣壓力
              (2)前級泵應保證始終及時排出主泵所排出的氣體流量。
              (3)兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間及預抽真空度的要求。
              根據主泵的工作特性不向,配泵可分為兩種情況:一種是主泵需要配前級泵,如擴散泵、分子泵等;另一種是主泵只需要配預抽真空泵,而不需要配前級泵,如各種吸附冷凝泵等。
               主泵配前級泵計算時,需要前級泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的大排氣壓力,主真空泵才能正常工作。普通的油擴散泵的大排氣壓一般為26~40Pa左右;油增壓泵的大排氣壓力一般為130~260yPa左右。
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